微观表面结构鉴定研究的重要工具

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微观表面结构鉴定研究的重要工具-电子显微镜

穿透式电子显微镜（TEM）穿透式电子显微镜分析技术,
（1）包括各种材料试样制备及场??发射式电子显微镜观测与分析。
（2）其功能可做微细结构的观察分析,原子影像观察;并可鉴定结构形相为多晶,单晶或是非晶结构;
（3）并可利用TEM的特性做结构性缺陷分析,鉴定缺陷种类及分析制程中的缺陷。

?原子力显微镜（AFM）属于扫描探针显微技术（SPM）的一种。
（1）AFM具有原子级解析力，其探针大多由矽制成，针尖曲率半约为10nm，
是微观表面结构研究的重要工具。
（2）主要原理系藉由针尖与试样间的原子作用力，使悬臂梁产生微细位移，以测得表面形貌起伏，
（3）可应用于多种材料表面检测，包括表面形貌量测、粗糙度分析及表面结构研究等。
（4）可区分为接触式、非接触式及轻敲式三大类