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三维轮廓线上精密量测专业图像显微镜
运用数位微镜组装置(DMD) 之数位投射技术,发展一套光纤式数位
共焦三维形貌光学量测雏型系统。
运用影像光纤与光学镜组,整合出一可微小 化三维量测系统,未来
可对狭小空间内 物件进行三维轮廓线上精密量测。量测系统之架构
原理,由数位投影装置 (Digital Light Projectors)投光经过光学
镜组,将结构光谱聚像至软式光纤,使 用光纤可使得量测取像端获
得可携性 及型体之微小化。
在取像系统中加入分 光镜、缩影物镜、远心镜头与 CCD 等 装置,藉
由同轴共焦(Coaxially Confocal) 量测原理构成三维轮廓量测系统。