光学镜片表面轮廓与其表面粗糙度检测

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光学镜片表面轮廓与其表面粗糙度检测-测量显微镜

为非接触式镜片表面轮廓检测仪器

用扫描白光干涉仪原理(Scanning White Light Interferometer)进行表面轮廓测量，

并藉由压电转换器(Piezo-electric Transducer，PZT)带动垂直方向扫描，

进而推算出三维的表面轮廓结构，

因此本系统适用于表面有高低起伏的轮廓结构工件与其表面粗糙度测量，

例如一般光学镜片表面轮廓与其表面粗糙度检测。本仪器为非接触式检测，可避免一般使
用探针式的机械测量方式，容易造成镜片表面刮伤