SEM电子显微镜观察微凹型球面模具表面结构

(版权由上海光学仪器厂所有, 未经允许禁止复制,转载注明我厂网址http://www.sgaaa.com)

SEM电子显微镜观察微凹型球面模具表面结构

铝合金 6061 的微凹型球状模穴加工。工具电极复合电镀沉积完
成后，进行对铝合金 6061 的微凹型球面模穴加工，其步骤如下，如图 3-12
之加工示意图：

1. 预先放电一深度 5μm 之凹坑，其主要目的为使精微球状研磨工
具在研磨工件表面时有引导方向之作用，而不会呈现初始研磨时
球状研磨工具左右偏摆现象，将放电加工机 Z 轴提升，加入已调
配好混合游离磨粒之研磨液于放电微凹坑中，以方便进行微凹型
球面模穴研磨，并以各种不同之研磨参数进行加工，使微凹型球
面模穴表面能够达到理想表面。

2. 利用超音波洗净设备将为研磨工具与工件洗涤干净，SEM电子显微镜观察表面