精细零部件尺寸精度测量显微镜

(版权由上海光学仪器厂所有, 未经允许禁止复制,转载注明我厂网址http://www.sgaaa.com)

精细零部件尺寸精度测量显微镜-表面粗糙度量测

调整工具电极之挟持与旋转速度、线电极之平稳与运转速度、
CCD 焦距之校准、去离子水之开启……等。上述之动作
必须先安置妥当才可进行以下之动作。

运用放电加工对工具电极修整，工具电极修整步骤

1. 利用电极寻边之功能与控制精密 XY 轴控制器，将碳化钨电极之中心
点精确的与铜线中心点对齐，已进行端面之修整。
2. 进行粗加工时配合 CCD 量测软体以控制电极尺寸大小，粗加工使用 2A
与 500mA 之电流，目的为修整工具电极旋转之偏心量与将大的电极尺
寸修整至得以精加工之尺寸。
3. 进行精加工前先将电流调至最小 100mA 之电流，并 借助由 CCD 量测软
体同步控制电极尺寸精度，目的为使工具电极的形状尺寸精确、并降
低工具电极的表面粗糙度。
4. 将碳化钨棒前端修整成尖锐状，其目的为碳化钨材熔融成液状并 借助由
表面张力之原理凝固为球状时，确保电极在中心点。
5. 调整适当之电流与转速，将已修整尺寸为 70μm 直径电极之尖锐端对
平稳固定之高镍合金平板进行放电成球