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专业实验大景深显微镜厂商,光学技术常识简介
TFT-LCD 及彩色滤光片 (color filter, CF) 面板产业的生产
线所使用的自动光学检测机 (automatic optical inspection, AOI) 及激光修
补机 (laser repair, LR) 中,在缺陷检出之后往往需要以显微镜进行缺陷的
取像分析,在高倍率的镜头下影像的景深较浅所以比较容易离焦,加上
TFT-LCD 及 CF 面板随着科技的进步尺寸不断加大及其乘载方式的限
制,往往会造成面版中央较周围略下陷的现象,称为玻璃变形
(bending) ,玻璃变形会使显微镜无法取得清晰的缺陷影像,为了克服玻
璃变形所导致的离焦问题便需要显微镜自动对焦的机制。
显微照像快速自动对焦技术主要就是以解决目前自动光学检测机及激光
修补机所需的自动对焦问题为基础,
提供ㄧ个快速、稳定且可靠的显微照像自动对焦系统