扫描式电子显微镜(SEM)适合于破断面的观察与分析

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扫描式电子显微镜(SEM)适合于破断面的观察与分析

扫描式电子显微镜(SEM)是最有利且常用的仪器，它的特性是

(a)焦距景深(Depth of focus)长(在1万倍时1?m，10倍时2㎜)，有立体效果；
(b)解像力约100A左右，有效的放大倍率可达10000~60000倍；
(c)可直接做破断面观察，最适合于破断面的观察与分析。
如果加装EDS设备，则能做点、微区所含不同元素的化学成份、线扫描(Line scans)
及面元素分布(X-ray mapping)之成份分析，使偏析、介在物、析出物或腐蚀生成物
都能很快地分辨出来，对裂痕的起始与延伸分析上有很大的帮助。

SEM微观检查往往可以确认破损型态，譬如是，具酒窝型(Dimples)的延性破断、
具疲劳条纹(Fatigue striations)之疲劳破断、具穿晶劈裂(Cleavage)的脆性破断、
具沿晶破裂的潜变破断等等。尤其对于破裂起始点与缺陷、介在物等的关系
可得到进一步的结果