表面轮廓仪应用于测量陡峭的斜率表面

应用表面轮廓仪很容易测量陡峭的斜率表面-测量显微镜

  测量这类表面的问题之一是表面的曲率变化和相当陡峭的斜率，所以，
光学轮廓仪必须有相当大的测量范围，而表面轮廓仪很容易测量这类表面。不同
仪器的横向(x)扫描范围可以达到200mm，利用最新规格PG 1240仪器

  z方向的扫描范围是12. 5mm，x方向的抽样率是0.125 -1.0μm

(取决于扫描长度)，不准确度是0.35m+0. 03X扫描长度，在分辨率0.8nm时的高度
可重要性好于 0. 04μm，可以测量的最大斜率范围在士35°。与表面轮廓测量仪
一样，

若使用其他类型仪器，对系统进行正确标定是关键。

由于是一种接触式轮娜测量仪器，所以，利用该技术可以测量模芯和模压光学
元件两种零件。

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