实验用测量工件表面粗糙度和几何图形测量显微镜

实验用测量工件表面粗糙度和几何图形测量显微镜

.测量工件表面粗糙度和几何图形方法的适用性正在研究中，对于简单的表面已得到了
和机械法侧全相一致的结果.

下一步是要修正由更复杂表面所得到的结果，如车削、磨创和研磨的表面粗糙度.
完成了这一点，仪器公程便从现在的10μm扩展到1mm或更大，这将极大地提高它
的使用性能。

  显微镜还存在由于仪器目前的结构所强加的某些限制，例如它不能用于测量
小孔且需移动工件。
未来的工作计划是探索更合理的结构以克服这种限创，例如用激光束扫描工件表
面。

  与机械式仪器相比，离子激光装叉的价值较高.使其受到进一步的限制，但这
究竞只是一方面的观点，在那些用接触法不合适的场合，这种类型的仪器将会有
很多用途。同时还可用于标准实验室代替机械式仪器。

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