应用于测量机械零件的形状的高精度光学显微镜

应用于测量机械零件的形状的高精度光学显微镜

在机械零件的形状中，作为基础的是直线（平而）和圆（圆柱）。

  其中，从机械加工方面看来，一般认为外回切削容易加工。

  因此，在机械零件的形获中，最常用的是圆往形。

  所以，过去是用二个顶尖将圆棒支起来，在它的圆周上放置千分表
的测量头，一边旋转圆柱同时观察测量头的振摆，求出圆柱某一断面上
正圆的偏差，也就是开始采用所谓求取正圆度等的测量方法。

  但是，在求取高精度加工过的圆柱的正圆度时，这就需要高精度的
正圆度测量仪了。

  要确定以理想的几何学的正圆（实际上是比测定精度还要高的精度
的圆形）作为基准形状。因为是基准形状，要采用进行圆运动的点的轨
迹。因此，在正圆度测量显微镜的设计中，以非常高的精度设计回转的旋转
装置是最重要的事情。

  其次，用这个旋转装置描绘的基准的圆形和检测与被测表面的形状
的偏差的方法，

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