调焦物镜进行聚焦一般都是最低显微镜倍物镜
聚焦用调焦物镜进行聚焦总是应以最低倍物镜为起点,这样就可
以给出最大的工作距离并使物镜轧住试样的可能性减至最小。如果被观
察的表面是在凹坑中(比如拆去了封装的集成电路块),当转动统调焦
物镜进行聚焦时必须谨慎从事,因为用高倍物镜是不可能看清凹坑壁的。
假如能看到光源灯丝的模糊影子时,
这表明物镜距物体太近了,应当缓慢地退回。对于非统调焦的物镜,
可把物镜降低到刚好在试样表面上(这时把眼睛置于物体水平面上进行
观察,注意看着间隙)。再把物镜从物体移开进行聚焦。
对于配备科勒式照明器的仪器,场光阑叶片)将与物体同时聚焦。
因此,可把光阑缩小并对准某一叶片边缘进行聚焦。当物体是高反
光性的而使聚焦难于进行时,此种方法特别有用。
如果所有别的办法都不能奏效,那么就可能不得不在试样表面上添
加尘埃来帮助聚焦工作的进行。在转动调焦控制器的同时,使试样稍微
纵横移动有时也能帮助聚焦。当需要大的工作距离时,必须采用低倍物
镜或长焦距物镜。采用较高倍的目镜虽能维持总的放大倍数不变,但可
能会损失分辨率
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