表面光洁度测量光学显微镜

表面光洁度测量光学显微镜-金相制样分析仪器

  （1 ）在检测器中，如以纵向放大倍率为50万倍，并为了测定软弱
表面，测定力比过去要更小，必须进行50毫克以一「的设计。

  （2 ）正如上述，为了用小的测定力测量微小的位移（0.002 微米
程度），对振动要加以考虑，在机构的选择及结构设计上是极为重要的，

  接触式测量显微镜，测量头经常接触被测物体，如被测物体由于外部振
动影响而移动，会测得这种变动，并当作原来形状的变化。

  此外，测量显微镜自身的振动，影响测量头，这也会被测量出来。最近，
关于对表面光洁度测量显微镜的振动影响的研究。已有所进展，对本仪器来
说，这种振动问题就显得更为重要了。因此，首先在设计时，总结一下
成为外部扰乱原因的现象，可分为如下几项。

  （1 ）从外部传来的振动干扰，是通过地板和设置台传来的外部振
动及人的声音和人、物的移动而造成的空气振动。

  （2 ）由测量显微镜内部的振动源而产生的干扰，送进装置的驱动源，
由于导向装置的摩擦产生的振动等。

  （3 ）由于其他原因产生的干扰。如由弹性变形而引起的振动等。
因温度变化产生的热移动，这样，一种漂移现象就会引起干扰。

  （1 ）项及（3 ）项温度变化引起的干扰，并非完全由于外部情况，
在进行精密测定时，要以过去的侧定条件为前提而进行设计。

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