通常自动化光电测量显微镜精度为0.1

通常自动化光电测量显微镜精度为0.1-1μm左右

  使用刻度尺测量，首先必须知道刻度的中心位置，其次，
必须知道自刻度中心算起的刻度小数部份.为了能精确地知
道刻度的中心位置，就必须用光电显微镜。

  近来，刻度尺的刻线是用高精度的刻线法刻制成的。这
种高精度的刻线法，有光波干涉法，在后面叙述。在主动测量
中，使用刻度尺较少，这是因为它的指示测量精度还不理想。

  由人来测量刻线的中心位置时，可使用一般的显微镜。
为了实现自动化，必须使用光电显微镜。通常，前者的精度为
1μm，后者为0.1μm。使用光电显微镜可以减少人为的误差。

  在一般的情况下，光电显微镜的狭缝，静止地、自动地对
刻线中心是困难的。例如狭缝T相对于光轴(图中照明系统
为水平轴)垂直对称地振动。由于T的振动，光线照明刻度尺
并在刻线左右扫描。如果刻线位于显微镜的光轴上，则扫描相
对于刻线左右对称，因此光电管的输出波形为等间隔的。

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