聚焦型激光显微镜

聚焦型激光显微镜-显微测量仪器制造厂商

  用激光光点检测位置的方法称光触针法。它是用光点代
替与被测件接触的触针尖。此方法的优点是不接触工件就可
以进行测量，这是因为使用了聚光性好、亮度大的激光。所
以，光触针法在坐标测量中具有很高的使用价值。

  用一般透镜把激光聚集成象，称为聚焦型激光显微镜，测
量对象主要是物体的位置和形状。此处介绍其中一部分，其
余部分在光电显微镜中介绍。

  根据被测量位置上入射光束和反射光束的关系，把光点
检测位置分为两类:一类是入射光轴和反射光轴同轴，另一类
是两光轴有一定倾角。

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