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倾斜光轴的显微镜可用显微测角仪来测定-工具型
工具显微镜的载物台在x-Y平面上和垂直位置上都由精密测
微器调节
并用标度盘指示器来控制使它便于测星表面特征之间的距离.
在研究非常小的晶体时，不同的裸露平面之间的角度可以
用备有校正过的旋转载物台和校正过的可倾斜光轴的显微镜
(显微测角仪)来测定.使光源和显微镜对观察面都倾斜成45°
角时，便构成一台能够测量台阶高度的光截面显微镜.
它虽不具有如显微干涉仪那样精细的分辨能力，但是对产品
测量却更实用.
另外还有依赖于附加现象的其它光学装置，这些装置也是用
来检验半导体材料和器件的，例如相衬、干涉衬度和起偏振
镜等.
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