试件表面有镀层样品适合使用哪种显微镜测量

试件表面有镀层样品适合使用哪种显微镜测量

  如果试件表面全部都有镀层，而镀层透明时
仍可用干涉显微镜进行测量。这时在视场里可以看到二组干
涉条纹:一组由镀层表面产生;一组由衬底表面产生。

由于表面反射系数差异，二组条纹衬度也有差别，因此很
容易测量

孔径光阑的选择

  孔径光阑大小不但控制了视场亮度，而且控制了物镜的
数值孔径。光栏大，物镜孔径也大，鉴别率也高。但孔径大
时，对仪器各部分要求也高，所以大孔径时一般干涉条纹质量

没有小孔径时好。故孔径光阑不一定是开得愈大愈好，至少
不能大于物镜的孔径。即拿掉目镜，用眼睛直接在目镜管里

观察时，孔径光阑不能大于物镜框的直径，否则孔径光阑发出
的光线不能进入物镜，反而造成有害的杂乱光线。其次对于
测量▽10,▽11,▽12表面，孔径光阑应适当缩小，以保证测
量深度范围和提高条纹的对比。即使测量工件光洁度为▽13,
▽14，为了提高条纹的对比，也可以稍稍缩小孔径光阑。

用目视估计方法测量表面光洁度

  用干涉显微镜测量光洁度，为了方便起见，往往采用目视
方法。估计干涉条纹的弯曲量为干涉条纹宽度的几倍或几分
之一，

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