显微轮廓仪结构特点

新改进的干涉轮廓仪有哪些特点

  显微干涉轮廓仪结构的主要要求，是放被检零件的工作台和
干涉头联结的刚性要好，必须保证干涉条纹对振动的灵敏度为最
小。在调整结构方面，三个相互垂直方向精密移动被检表面13和
绕其两轴转动，要求有很灵巧的机构设计。另外，为了使两路相
干光束的光程相等，沿光轴方向精密移动物镜和棱镜也值得注意。

  检查零件内表面光洁度的显微干涉轮廓仪在显微干涉轮廓
仪里，狭缝成像在被检表面上,这就使我们不仅可以检查有不规
则加工痕迹的表面，而且便于圆柱表面的检查。实际上如果狭缝
像平行于圆柱母线，则仪器视场中看到直条纹，其宽度是不变
的，与圆柱直径无关。特别有价值的，是显微干涉轮廓仪还可以
用来检查光洁度等级高的内圆柱表面，过去，没有检查内回柱表
而光洁度的仪器，只能对主要零件进行抽检，先要把它切开，然
后在干涉显微镜上检验

  检查内表面的显微干涉轮廓仪,用三物镜系统(即用于干涉指
示仪中的系统)。这种系统可以采用任意高倍数的显微物镜，

此外可避免一支光束倒转

  显微干涉轮廓仪的缺点，是视场照度明显地比干涉显微
镜低得多，因为它不能用在两个方向都扩展的光源，而采用窄的发
光狭缝。除此以外，又因采用两面镜，使仪器的制造和调整变得
复杂。因此，显微干涉轮廓仪不能够取代干涉显微镜，检查有规
则痕迹的表面，采用干涉显微镜还比较合适。

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