高精抛光或镜面精加工样品工业用表面粗糙度仪
高精抛光或镜面精加工表面,在用触针式(接触式)测量仪
器测量其粗糙度时,所遇到的问题恰恰是在高的灵敏度方面。表
面的轮廓图形被触针的抖动、振动以及外界的影响(如仪器的噪
声)所歪曲。仪器的最小读数也是一个对测量的限制因素,当所
测表面的粗糙度值接近仪器最小数值时,基准表面特性的影响变
成主要因素,工业用仪器所提供的信息大多数是测量表面微不平
度的高度,对于镜面精加工表面,这种测量不能充分实现对其粗
糙度进行实现的和恰如其分的评定。
然而,当测量很精细表面时,用一个精细的触针和较高的数
据采样率,触针式仪器的限制可能减到最小,并可能获得较好的
结果。但是,触针尖端接触压力强度的提高会导致表面的损伤,
采样点的过密会造成数据的相关联的过,光学方法(非接触型)
不能单独的给出这种表面完整的粗糙度的评定,它们多数是
测量表面的反射率、划痕和沟槽的深度,而并非是表面的纹理结
构。
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