非常精细表面粗糙度测量用光学显微镜的类型

非常精细表面粗糙度测量用光学显微镜的类型

  当使用光学方法时，局部散射和总体反射的区别也需考虑，
而任何非传统的粗糙度测量方法应该以参数给出测量结果，该参
数要符合公认的ISO 粗糙度术语，一个光学和数字方法的联合装
置已被研制出来，用非接触的光学数字方法给出的结果是令人满
意的、全面的，而且符合ISO 术语，因而非常精细表面粗糙度的
实际比对成为可能。

  在实际的干涉显微镜内，有关被研究表面的干涉图样的很多
复杂信息没被利用。如果被研究表面的结构沿其表面接近于常数，
那么，其干涉条纹通常可以被理解为是高度曲线。
  改进这种目视检查窄小条纹的方法，通常是寻求：（a ），
使用具有陡的密度曲线的照相材料，（b ），使用多光束干涉法，
或者（c ）。借助于一种为等密度法的照相技术，在各种情况下，
较高精度所换来的只是在表面的主要部位的较少的信息。

  这些缺点与不能使用干涉图样的全部信息紧密相关，从而导
致我们进行了下面介绍的初步实验，在这个实验里，然而这一点
却避免了去确定密度曲线的必要性，因为被利用的仅仅是一个灰
色值。通常，当表面上的粗糙度参数的散布是相当大时，这种方
法的分辨率大约在1%左右已足够，空间分辨率被显微镜物镜的孔
径所限制，约为1 μm ，这两者都受到照片象的粒度的不利影响，
但在这里这种影响是微不足道的。

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)