应用白光干涉仪SJ325便携式粗糙度仪表

　　在过去的20年里，精密和超精密加工技术行业对表面质量和性能的评价提出了越来越高的要求。因此，表面测量技术已经从传统的二维接触发展到三维光学非接触。

　　1.接触式测量

　　接触式测量是1927年以来采用的一种传统的粗糙度测量方法。其测量原理是：当驱动器驱动传感器沿着工件的测量表面以恒定的速度移动时，传感器的测量针随着工件表面的微波动而上下移动，测量针的运动通过传感器转换为电信号，电信号的变化通过后期电路的处理和计算得到工件表面粗糙度的参数值。

　　接触粗糙度测量仪器主要包括中图仪器SJ5701系列台式和SJ325便携式两种，可满足不同客户的测量需求。

SJ5701粗糙度轮廓测量仪

　　三维光学测量的粗糙度主要包括共聚焦微测量和白光干涉测量。

　　2.共聚焦显微镜方法

　　包括共聚焦显微镜LED光源，旋转多针孔板，物镜和压电驱动器CCD相机。LED多针孔盘的光源（MPD）物镜聚焦在样品表面，从而反射光线。反射光通过MPD针孔减少到聚焦部分CCD在相机上。传统光学显微镜的图像包含清晰和模糊的细节，但在共焦图像中，模糊的细节（未聚焦）通过多针孔板的操作被过滤掉，只有聚焦平面上的光到达CCD照相机。因此，共聚焦显微镜可以在纳米范围内获得高分辨率。每个共聚焦图像通过样品形状的水平切片在不同的焦点高度捕获图像，通过压电驱动器和物镜的精确垂直位移实现共聚焦显微镜。在软件从共聚焦图像中重建精确的三维高度图像后，通常在几秒钟内捕获200到400个共聚焦图像。

　　3.白光干涉法

　　白光干涉仪是一种高精度工具，用于测量表面形状，可达到0.1纳米的超高分辨率，用于测量超高精度3D表面粗糙度，中图仪表SuperViewW1系列已广泛应用于各科研院所、高校、光电企业、半导体芯片企业。

　　中图仪器作为中国领先的测量仪器研发和制造商，依托十多年的技术沉淀和卓越的产品质量，将继续为国内外客户提供更加多样化的表面粗糙度测量方案和设备。