测量工件表面粗糙度和几何图形轮廓测量仪器

测量工件表面粗糙度和几何图形轮廓测量仪器

  测量工件表面粗糙度和几何图形方法的适用性正在研究中，
对于简单的表面已得到了和机械测量相一致的结果，下一步是要
修正更复杂表面所得到的结果，如车削、磨削和研磨的表面粗糙
度，完成了这一点，仪器量程便从现在的10微米或更大，这将极
大地提高它的使用性能。

  显微镜还存在由于仪器目前的结构所强加的某些限制，例如
它不能用于测量小孔且需移动工件，末琮的工作计划是探索更合
理的结构以克服这种限制，例如用激光束扫描工件表面。

  与机械式仪器相比，离子激光装置的价值较高，使其受到进
一步的限制，但这究竟只是一方面的观点，在那些接触法不合适
的场合，这种类型的仪器将会有很多用途，同时还可用于标准实
验室代替机械式仪器。

  研究显微结构时，通常将客体放大数百倍至千倍，即其观察
细度为微米数量级；而研究微观结构时放大倍数可达数百万保，
其分析细度可达数埃。故显微结构又称关微观结构。

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