半导体器件研究和开发

　　不久前，半导体行业观察在文章国内高端测试仪器市场困境，介绍了当前时代，随着新兴技术和市场的兴起，芯片技术越来越复杂，新设备类型不断出现，许多因素促进了国内半导体测试技术的持续发展。

　　为了打破传统仪器固有的缺陷和局限性，行业需要更多面向未来需求的测试系统和方案。在这种需求和挑战下，

　　国内高端半导体参数测试系统由基伦电子推出FS-Pro，为了应对先进设备研究过程中新材料、新结构、新工艺的应用可能带来的未知变化，大大加快了半导体设备和工艺的研发和评价过程。

　　概伦电子FS-Pro半导体参数测试系统

　　由于其在生产线测试和科研应用方面的优异表现，FS-Pro综合测试能力在科研和学术界得到了广泛的关注和认可，并被许多芯片设计公司、OEM工厂和IDM该公司已被国内外数十所高校和科研机构采用。

　　可以看出，通过加强产学研合作，保持高研发投入，不断吸引行业人才，长期坚持技术沉淀，努力通过客户需求引导不断丰富制造业EDA产品布局。

　　研究和开发先进的半导体器件，迎新进展

　　不久前，为了应对短脉冲测试过程中半导体尺寸的不断缩小(PIV)根据新技术要求，北京大学集成电路学院和上海交通大学电子信息与电气工程学院推出了新一代高精度快速波形发生和测量套件FS-ProHP-FWGMK，填补了FS-Pro短脉冲试验的空缺也打破了我国短脉冲试验技术领域的空白。该设备结合同伦电子开发的测试软件，实现了百纳秒级的快速波形发生和测量，可广泛应用于铁电存储器（FeRAM），阻变存储器（RRAM）研究新的存储器件；它还可以支持半导体制造过程中重要的可靠性测试，如BTI公司晶圆级可靠性测试解决方案中的重要组成部分等。

　　到目前为止，几乎所有半导体器件的低频特性表征都可以在FS-Pro完成试验系统，可广泛应用于各种半导体器件，LED材料、二维材料器件、金属材料、新型先进材料及器件测试等。作为高端测试仪器的代表之一，FS-Pro包括晶圆代工和IDM世界领先半导体公司的验证和批量生产应用，包括龙头企业，在中高端产品领域率先取得突破，成为国内行业的领导者，充分展示其国际竞争力，有望引领浪潮。

　　支持新设备/材料的应用，帮助前沿学术研究

　　最近，基伦电子在帮助前沿学术研究方面取得了新的进展，与多家科研机构和国内大学合作“2022第二版FS-Pro论文集”，展示了FS-Pro为推动半导体相关领域的高端学术研究，在先进器件和材料领域的测试中表现出色。

　　其中，电子科技大学刘教授在论文项目中“通过范德华层状CuInP2S离子迁移模拟神经可塑性”中，将FS-Pro参与类神经元突触器件的科学研究，FS-Pro比其他测试仪器更快。

　　据了解，FS-Pro与传统的半导体参数测试系统相比，引入人工智能驱动测试技术的测试速度可达10倍，在提高强速的同时仍能保持测试精度。

　　另外，在“探测率为2.4*1013Jones近红外石墨烯有机光电晶体管的设计”电子科技大学王军教授在他的论文中使用了它FS-Pro参与光敏突触晶体管试验、钙钛矿量子试验等部件，具有模型参数提取功能、试验速度快等优点。王军说，除了上述优势外，FS-Pro在软件功能和低频噪声测试中也有亮眼的表现。

　　软件方面，FS-Pro系列内置LabExpress测量软件具有强大的测试和分析功能，可以提供友好的图形用户界面和灵活的设置。其中，测试后可以直接扩展各种数据存储方法的内置强大的数据处理能力，导出的数据可以供用户进行后续的分析和研究，也可以直接导入建模软件BSIMProPlus和MeQLab模型提取和特征分析。

　　在噪声测试方面，特别是在二维材料光电探测器和有机探测器研发领域，FS-Pro独特的1/f噪声测试能力可以获得设备内部的缺陷参数，并获得更多的深度技术性能，特别是在计算检测率时，考虑到1//f通过噪声因子获得的率更准确。FS-Pro它可以与9812系列噪声测试系统无缝集成，速度快DC进一步提高9812系列产品的噪声测试效率。

　　在西湖大学洪焘教授“高性能波导集成硅光集成电路Bi2O2Se光电探测器”论文中，FS-Pro高性能光电流响应试验和1//1f快速噪音测试I-T光电流到光电流响应的测试能力。

　　教授指出：“1/f噪声测试和分析能力对探测器非常有帮助。使用后提供的噪声测试已得到国际同行的认可，并发表给我们ACSNANO提供了很大的帮助。”

　　在器件的I-T试验表征，FS-ProSMU优秀的能力已经被市场验证，高达1us采样率，10万点数据存储容量，实现了行业SMU做I-T较高的测试指标。

　　孙东明教授，中国科学院金属研究所“超灵敏的Mo双异质结晶晶体管”中，采用FS-Pro用于计算检测率的测试响应参数、噪声测试，为二维材料光电探测器的超高灵敏度提供帮助。

　　由此可见，低频噪声作为一种有效的非损伤实验手段，越来越被学者所认可，FS-Pro半导体参数分析仪作为唯一的集成噪声测试功能，在研发前沿新材料、新器件方面越来越不可或缺。

　　根据以上内容，依托生产线测试和科研应用的优异表现，FS-Pro综合测试能力在科学研究和学术界得到了广泛的关注和认可。由于文章的篇幅有限，本文只选择了它“论文集”几篇论文及其对FS-Pro简要描述了使用/反馈。

　　综上所述，基伦电子半导体参数测试系统FS-Pro集IV，CV与1/f噪声测试是一个集成，灵活满足学术研究用户的不同测试需求，具有高精度、低成本、全面、强大的半导体器件表征分析能力，节省测试设备的采购费用，加快半导体器件和工艺的研发和评价过程。

　　孙东明教授表示，为了应对不断变化的市场和技术趋势，以及不断涌现的新测试需求：“基础研究将继续突出测试的新要求。希望国内企业，包括同伦电子公司，能够继续关注新的设备测试特性，不断优化产品，提高产品竞争力。”

　　未来，相信FS-Pro越来越多的项目将使用商业应用和校企合作，成为半导体器件和先进材料研究领域的得力助手。

　　持续探索“产学研融合”之路

　　目前，随着国家科技创新体制机制的不断完善和科技创新平台的不断完善，高校科技创新能力不断增强，越来越多的科技成果从高校中脱颖而出，逐步转化为实际生产力。

　　高校科技成果与企业需求的有效联系，不仅可以充分发挥学校和企业各自的优势，还可以共同培养社会和市场所需的人才。这是大学和企业之间的双赢模式之一。许多进入中国市场的外国仪器企业选择与高校合作，根据《时代》的发展，共同培养高素质的仪器人才。

　　从行业的角度来看，半导体测试仪器属于高端科研仪器和设备，需要长期积累，特别是测试国家基础技术的厚度。由于国内测量仪器行业起步较晚，我国的产品结构主要集中在中低端，只有少数企业走向应用研发的转型。

　　在这个行业的现状下，国内厂商应该更加关注“产学结合”通过与国内高校和科研机构的合作模式，一方面，在高校创新资源的支持下，可以促进企业自身研发成果的产业化；另一方面，也可以进行大规模的培训。