洁净室性能监控需要那些仪器

　　仪洁净室的日常维护工作中，仪器的作用相当于监督洁净室运行状态的一面镜子。

　　1.主要仪器和仪表

　　1.风压试验仪器：主要用于测量洁净室与洁净区之间的微压差，也可采用压差法测量风速，计算风量。

　　(1)液体压力液压计使用方便.价格低廉.精确度较高.制造和安装方便，但测量范围有限.玻璃管易碎等缺点。

　　常用的工作液有：酒精.水.在洁净室测量中，水银等主要是酒精和水。

　　液体压力计主要包括：U型管压力计.斜管压力计.补偿式压力计。

　　(2)弹簧压力表：弹簧压力表是根据测量压力下弹簧元件的变形，其变形与测量压力的函数关系的原理，其优点是结构简单.便于携带.安装方便.便宜。常用的弹簧压力表主要包括:弹簧管压力表.隔膜管压力计和膜核压力计。

　　(3)电压力计:电压力计是一种利用压电原理或高压下电阻变化等电学方法来测量压力的压力计，适用于快速测量变化.高值或接近绝对真空时的压力。

　　2.风速和风量测试仪器：

　　(1)风速测量仪的作用原理是：机械式.散热率型和动力测压型。

　　a机械风速仪：如翼形风速仪，它是一种利用流动气体的原动压推动机械装置来显示其流速的仪器。

　　b。散热率风速计：根据流体中受热物体的散热率与流体流量成正比，测量传感器的散热率，即可以测量流体的流量。常用的散热率风速计有：热线风速计和热球风速计。

　　(2)风量测量仪:常用的风管法用于洁净室内总风量的测试，每个房间的回风量采用风口法测量。其原理是平均风速乘以断面面积。

　　3.洁净度测试仪：

　　a。粉尘颗粒检测仪器：目前，洁净室清洁度检测主要采用光散射粉尘颗粒计数器，分为白炽灯粉尘颗粒计数器和激光粉尘颗粒计数器。

　　其原理是利用空气中粒子对光的散射现象，将取样空气中粒子的光脉冲信号转换为相应的电脉冲信号，测量粒子的粒径，利用粒子的光散射强度与粒子粒径的平方成正比。

　　b。生物颗粒检测仪：目前生物颗粒检测方法主要采用培养基法和滤膜法，所用仪器分为浮游细菌采样器和沉降细菌采样器。

　　浮游细菌采样器主要包括:固体冲击采样器.离心式空气微生物采样器.气旋微生物采样器.液体冲击微生物采样器.过滤微生物采样器、大容量静电沉降采样器等。

　　沉降菌采样器主要包括:高压消毒锅.恒温培养箱、培养皿等。

　　4.温湿度监测器

　　温度测试仪:一般称为温度计，按其作用原理可分为膨胀温度计.压力式温度计.热电偶温度计和电阻温度计。

　　a膨胀式温度计：固体膨胀式温度计和液体膨胀式温度计。

　　b。压力温度计：可分为充气压力计温度计和充气压力计温度计。

　　c。热电偶温度计：根据热电效应的原理制作。当两个不同的金属节点的温度不同时，就会有一个电势。如果温度知道一点，则可以计算另一点的温度。

　　d。电阻温度计：基于某些金属及其合金或半导体的电阻会随温度的变化而变化，准确测量电阻会测量温度。电阻温度计的优点是：高精度灵敏度.反应快，测温范围宽，不需要冷节点补偿，可用于远距离测温。

　　湿度测试仪可根据其原理分为干湿球温度计.毛发温度计.电温度计等。

　　5.噪声测试仪：

　　噪声测试仪的原理是将声能转化为电能，然后放大器.一系列的处理，如检波器，最后给出声压值。

　　6.照度测试仪：

　　常用的便携式照度计的原理是使用光敏元件作为探头。当有光时，会产生光电流。光越强，光电流越大。测量电流时，可以测量照度。