光学显微镜测量微观很深表面要用孔径小物镜

光学显微镜测量微观很深表面要用孔径小物镜

光学显微镜测量法能够研究金属一周围介质分界面上固体的
结构特点。但是．光学显微镜的分辨率(取决于数值孔径(么)和
光的波长(=0．50微米))较低，因而它的应用受到了限制。这
时，研究微观形貌很深的表面要用孔径小的物镜。这就使光学显显微镜
的分辨率更加降低。

应用了紫外线辐射（=0.21）.
借助于光学显微镜来研究微观形貌具有很大的意义。干涉测
量术是测量表面微观形貌的一种最灵敏、最精密的光测方法。大家
知道有两种基本的干涉法，即双射线法和多射线法。多射线法能
得到很细的干涉条纹，以致就连条纹极小的位移也能看出，而这
样就能测出表面形貌的微小差别(约5埃)。

  光学显微镜因分辨率低而产生的主要缺点，在电子显微镜中
能得到克服，电子显微镜为了照明而采用了有效波长约为0．05埃
的电子。这就是说，电子显微镜的分辨率有可能比光学显微镜高
108倍。实际上，由于受电子透镜结构和试样制备方法的限制，
分辨率仅达2埃左右，而经常使用时为10埃左右。可见，电子
显微镜能够观察和测量原子级结构的特点。作这些研究时，
除了要复制所研究的表面以外，还要将大试样削薄成尺寸达
0．5一O．25微米的透明薄箔，也就是要研究对电子“透明”的试
样。

  使用光栅电子显微镜是在电子显微测量研究中跨出了新的一
步。使用这些仪器可以研究电子透不过的大块对象。对于
分析具有一般深度形貌的真实摩擦面结构，光栅电子显微镜测量
法具有特别重要的意义。问题是，由于结构上的特点，光栅电子
显微镜具有非常大的焦深。当放大率为X 500时，焦深为0．5毫米
当放大率为×10000时，焦深达8000埃。这种性能使光栅电子显微镜
能研究有效放大率为20000 - 40000(这一点大大超过光学显微镜)时
的表面形貌

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