显微镜测量表面粗糙度的高度范围为1～0.03微米

测微目镜读数法

首先使测微目镜中十字刻线的水
平线平行于干涉图样的方向线，以此方向线为基准线。然后
移动水平线使与取样长度范围内的五个最高点及五个最低点
相切，得到相应的10个读数。

采用
干涉显微镜测量时，不与被测表面接触，故对被测表面不会
破坏。同时这类仪器具有高放大倍率(放大500倍)和高鉴
别率，可以测量表面不平度高度范围为1～0．03微米
i)光切法和干涉法在测量时都不使用测头，因此不会
划伤零件表面；

ii)可以测出被测表面实际轮廓的谷底，测量精度较高
(因不受测头大小的影响)；

iii)由于测量仪器(即光切显微镜和干涉显微镜)比
轮廓仪价格便宜，使用较广泛。 

  缺点。

i)在光学仪器上不能一次测出许多评定参数的参数值I

ii)轮廓仪一次可以测出27种参数及其数值，而光学仪
器则要测量几次才能得出一个参数值，测量效率低
 
iii)有许多复杂表面无法测量． 

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