9J型光切显微镜利用光切原理测量表面微观粗糙度

  光切显微镜

测量光切显微镜是利用光切原理测量出表
面微观不平度的深度，从而得出粗糙度等级。光切显微镜是由照
明和观察两只显微镜组成，所以又称为双管显微镜。光切显微镜
可以测定▽3～▽9范围内的粗糙度等级。属于这类仪器，
有上海光学仪器厂9J型光切显微镜，和进口的双管显微镜，
它们在光学原理和构造上都是基本相同的。

光切显微镜一般用来测量表征参数Rz：，如要对表征参数Ra。
进行测定时，则需要确定轮廓中线，然后再经过比较烦复的计算，
较求Rz复杂，具体细节，可参照仪器的说明书或专门光学仪器
丛书的指导进行。

  干涉显微镜测量  干涉显微镜是利用光波的干涉原理来
测量表面粗糙度。它是把被测表面的微观不平度以光波干涉带的
曲折程度显示出来，和我们利用光学乎晶测量精密平面不平度的
干涉原理基本相同。当表面平直接近理想平面时，则看到的是直
线的干涉条纹；如果表面不平，中间有沟状凹下，则会看到曲折
的干涉条纹
利用粗糙度标准块进行比较，只能近似地判断出粗糙度等级，
无法测出数值，所以只适用于粗糙度要求不严的加工表面。
  光学测量法光学法测量表面粗糙度的仪器主要有光切
显微镜和干涉显微镜，由于测量时不和被测表面直接接触，所以
又称非接触测量法。

表面粗糙度的测量
  表面粗糙度的测量，从测量方法来讲，常用的有比较测量法，
光学测量法，针描测量法，另外还有印模测量法、激光测量法和
综合测量法等。
  比较测量法  比较法是将待测的加工表面和已知等级的
粗糙度标准块用目测进行比较，确定加工表面粗糙度的高低，是
生产中最常用也最筒便的一种测量粗糙度方法。粗糙度标准块是
用车、铣、刨、磨等各种不同加工方法制成的一套金属样块，有
平面形也有圆柱形。粗糙度标准块的工作表面，是在加
工之后，经过精密测量，然后标上粗糙度等级。

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