近期,光学仪器领导品牌德国蔡司公司推出了全新的Smartproof 5快速转盘共聚焦显微镜。 Smartproof 5快速转盘共聚焦显微镜作为蔡司共聚焦显微镜家庭的新成员,以共聚焦光学为基本原理,采用专利技术高速转盘扫描为成像方法,将高分辨率与速度完美结合在一起,是一款能够快速提供工业零部件表面三维轮廓,实现快速非接触式表面粗糙度测量的高端精密仪器。
Smartproof 5拥有业内最佳的高分辨率和最高共聚焦成像速度,专利的转盘共聚焦技术有效地减少获取分析结果的时间。集成和稳固设计确保无附加防振设备下能够在不同环境中安装并使用,独有的操作者模式适合工业生产的批量检测任务,能够极大地提高检测效率。蔡司以她最尖端的光学技术和基于用户的设计理念,再次向世界证明了光学领导品牌的地位。
产品优势
l 高分辨
由于采用了共聚焦成像原理,Smartproof 5将传统光学分辨率提高1.4倍,其XY方向线分辨率达到120 nm。
l 高测量精度
同时,在充分利用共聚焦能提供高度信息的基础上,Smartproof 5配备了精度高、重复性好的Z轴自动步进装置,最小步进精度达到1nm,这使得高度上亚微米,甚至纳米尺度的非接触式精确测量成为可能。
l 高速扫描
传统共聚焦采用点扫描成像,速度较慢;而Smartproof 5采用转盘扫描,成像速度是传统共聚焦显微镜的2-3倍,最快的高精度模式扫描速度超过50幅/秒(2048*2048分辨率),可以说瞬间即可得到测量结果,大大提高工作效率。
l 真实色彩还原
还可使用三色LED 光源,能够展现被测试样表面的真实颜色,从而将传统黑白共聚焦扫描显微镜拓展到更广阔的应用领域。
应用实例:
台阶高度标样测试(标准高度1.777±0.011mm,NIST认证),实测台阶高度1.772mm。
上图:三维伪彩图;下图:二维轮廓线图。
粗糙度标样测试结果。标准粗糙度Ra = 2.97mm,实测Ra=2.962mm。
20x物镜,4x1三维拼接,cut-off值取1/5取样长度。
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