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成果名称
高通量组合薄膜制备及原位表征系统
单位名称
中科院物理研究所
联系人
郇庆
联系邮箱
qhuan_uci@yahoo.com
成果成熟度
√正在研发 □已有样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产
合作方式
√技术转让 √技术入股 □合作开发 √其他
成果简介：
随着“材料基因组计划”的兴起，人们对新的实验手段，特别是高通量高空间分辨率的材料制备和性能测试方法提出了迫切的要求。正是针对于此，我们开发了这套“高通量组合薄膜制备及原位表征系统”，基于完全自主知识产权的新型生长机理制备高通量组合薄膜。同时，通过结合特殊设计的扫描隧道显微镜，可实现对所制备薄膜的原位超高分辨表征。尚在研发中，主要技术指标待测。
应用前景：
应用前景尚不明确。
知识产权及项目获奖情况：
发明专利：201510446068.7、201510524841.7
