测定表面的构形电子显微镜测得钢件磨削表面图象

测定表面的构形电子显微镜测得钢件磨削表面图象

 近年为测定表面的构形还采用一种光栅式电子显微镜，这种方法
就是将被测表面置于真空中，用狭窄的电子束进行扫描，电子束扫
描时掠过整个被测表面，利用电子束与表面接触处产生的二次辐射
，即可在电子射线管的影屏上获得表面的影像，这种仪器的分辨能
力可达30nm，用扫描电子显微镜测得钢件磨削表面图象。

  根据干涉法工作的仪器应用了迈克逊干涉仪的工作原理，将单色
光光束利用半透明镜面分成两束光，其中一束光射在一镜面上而被
反射；另一束光射地被测表面上也被反射，反射的二光束叠加而形
成干涉图像，光程差等于整数光波的地方最亮；而光程差等于奇数
半波时为最暗，在显微镜的目镜中看到的干涉图象为明暗交替的条
纹，因为从不平度轮廓峰反射的光束所走过的路程比轮廓谷反射的
光束小，所以不平度使干涉图象变形而导致条纹发生弯曲，从暗条
纹过滤到亮条纹表示光程庆功的变化，根据这个变化可容易地算出
不平度的高度，多光束干涉仪能够显示特别清晰的干涉条纹，根据
干涉条纹就可以得出精确的读数，干涉法的优点是图象清晰，可作
出不平度的形状和高度的评价，这种方法适用于在测针压力下会变
形的软质表面，该方法的缺点是可测的表面面积较小，对高度超过
1-1.5μm的不平度就不能测量，另外在测量表面粗糙度的统计特性
时比较麻烦全精度也不高。

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)