高速表征片TM曲谱成像仪器研制出

成果名称

高速外延片PL谱扫描成像仪

单位名称

北京中拓机械集团有限责任公司

联系人

徐杰

联系邮箱

ct_kfjx@126.com

成果成熟度

□正在研发 √已有样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产

合作方式

□技术转让   □技术入股   □合作开发   √其他

成果简介：     

    高速外延片PL谱扫描成像仪利用线激光器激发荧光光谱，利用光谱仪及面阵EMCCD对线荧光采集和光谱分析。这种荧光光谱采集方式较传统点扫描方式，采集速度快，可在短时间内获得高密度点的光谱信息，即1分钟内实现4万点的扫描采集,采集速度提高20倍，波长测量重复精度优于±0.5nm，光强度稳定性优于±0.75%。

应用前景：
     该设备主要用于LED半导体晶片的荧光光谱检测及太阳能晶片的检测，其中LED半导体晶片荧光光谱检测的市场年需求量约50台，市场销售额约为4000万元人民币，针对太阳能晶片荧光光谱测量领域，目前己有设备只能测得荧光光谱强度，并不能获得荧光光谱谱线形状，及光谱波长等细信息，该设备可快速获得太阳能晶片的荧光光强及光谱信息，具有独特的技术优势，预计太阳能晶片的市场年需求量约在20台左右，市场销售额约为2000万元人民币。

知识产权及项目获奖情况：
     该产品获得3项发明专利：半导体晶片的高速荧光光谱检测装置、半导体晶片的托起装置、半导体晶片的检测装置。
     该项目获得北京市科委“2014年首都科技条件平台科学仪器开发培育项目”的专项资金资助。