表面的轮廓批量检测光学式计量工具显微镜

表面的轮廓批量检测光学式计量工具显微镜

由于每个表面的微观不平度太小，难以用肉眼直接观测，
因此某些放大装置就成为必要的了．马上想到的是显微镜，
它能清楚地显示出水平方向的纹理。但我们最感兴
趣的是微观不平度，即峰和谷。由于这些峰和谷是垂直于水
平面的，因而显微镜不能显示出它们的高度．让我们用一种
假想的简单的仪器来代替显微镜．该仪器有一个杠杆，
一端有一支点，支点附近带有一个很尖的测头，该测头
能如实地描测出要探测的表面纹理。在杠杆另一端(很远)，
能记下放大很多倍数(例如5000倍)的测头上下移动
距离。被测表面和记录纸用不变的速度作水平方向移动时，
则假想的仪器将把表面的轮廓记录下来．如果记录纸移动的
速度比被测表面移动速度快些，则各个微观不平度可分离开
来，达到能被人清楚地看见的程度，这样我们就能探测和比
较各种表面的轮廓了．当然应该记住，为了使之清晰，这
些微观特点的形状必须加以夸张地放大

例如批量检测时，就不方便，会使人疲劳，而且肯定很
费讨间。因此我们需要的是一个单一的数字，它将足够地指出
一些特性上的差别，而这些特性则是影响性能的重要因素。
所有的表面都有复杂的纹理，到目前为止还没能找到一种方
法，能把轮廓图形提供的全部信息归纳成一个单一的数字。
可是，我们可以分开来，每次定量一个特性。

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