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成果名称
FF-63/70、FF-100/300脂润滑复合分子泵
单位名称
北京中科科仪股份有限公司
联系人
朱国精
联系邮箱
zhugj@kyky.com.cn
成果成熟度
□正在研发 □已有样机 □通过小试 □通过中试 √可以量产
合作方式
□技术转让 □技术入股 □合作开发 √其他
成果简介：
本项目产品为基于分析仪器行业应用的小型脂润滑复合分子泵，包括FF-63/70、FF-100/300两个型号。所涉及的关键技术主要有：
1）涡轮级叶片、牵引级圆盘型螺旋槽气体输运特性分析；
2）整体式涡轮转子的强度校核及高速铣削加工工艺；
3）高速转子轴系动力学特性分析及减振结构设计；
4）高速直流电机及驱动控制系统设计；
其中，整体式涡轮转子高速铣削加工、高速直流电机及驱动技术达到国际一流水平。
项目产品主要应用于各类质谱分析仪器，为仪器正常工作提供必要的高真空环境，产品主要创新点如下：
1）分子泵体积小、转速高，对氦气、氢气等小分子气体有较高的压缩比；
2）采用整体复合型涡轮转子，并通过HSM600高速铣加工中心规模化生产，提高产品一致性和可靠性，同时较好的控制成本；
3）对高速轴系设计轴向、径向相结合的复合减振方案，保证高速转子稳定运行。
产品主要性能指标如下
FF-63/70 FF-100/300
抽速 > 60 L/s > 250 L/s
极限压力 < 5E-5 Pa < 3E-5 Pa
转速 ≥ 50700 转/分钟 ≥ 42000 转/分钟
振动值 < 0.1um < 0.1um
应用前景：
项目产品为脂润滑复合型涡轮分子泵，主要为各类仪器和真空平台提供所需洁净的高真空环境，产品主要应用于质谱分析、表面科学、激光、薄膜沉积、实验室科研等领域。
据统计，2010年我国进口分子泵8000多台，其中40%用于各类分析仪器，并以每年20%的速度增长，而该领域分子泵长期被国外厂家垄断。本项目产品目前已实现销售27台，其中部分应用实现了对国外产品的替换。
知识产权及项目获奖情况：
本项目产品完全自主研发，拥有完全自主知识产权。
暂无申请专利。
