基于光学原理粗糙度测量光切显微镜0.03

基于光学原理粗糙度测量光切式显微镜0.03-0.05微米

另外还有一些结构原理有所不同的干涉显微镜，而有的干涉
显微镜测量的可能性也不同。例如，为了扩大测量表面不平度的
量限，研制了浸沉印模式干涉仪。

它可测量比较大的不平度，其原理是从被测表面取下不平度印模，
然后用干涉显微镜观测。

为了取得印模，要用电影胶片(硝化纤维的)。胶片
上涂以丙酮，并压向被测表面。获得的印模放在充有液体(浸沉
液体)的盒子里。盒子安装在干涉显微镜的一条光路内，像用干涉
显微镜一样，测出它的表面不平度。用这种仪器可以测量任何反射
系数的表面，其量限从0．1到10μm

  我们上面介绍的几种仪器并不是基于光学原理的全部不接触
测量器具，而只是常用的几种。

用于与光波波长直接比较测量，也可用于与量块比较测量，
其基本光学系统也是迈克尔逊系统。

  在这种干涉仪上，用光波半波波长数测量量块尺寸和平面x1广
行性偏差。为此，必须先在某种仪器上测量误差为士1μm的被测
量块的尺寸，而后在干涉仪上用不少于三条谱线的光干涉条纹确
定其数值。因为这些谱线的波长是已知的，所以得到的半波长复
合值可以确定量块的尺寸。
  非接触式干涉仪的特性：测量量块尺寸的范围为O～lOOmm，
测量误差不大于0．1个条纹，即在0．03-0．05μm之间。
测量显微镜
  测量显微镜是一种非接触式光学仪器，用来观察放大了的零
件轮廓，用直角坐标或极坐标测量这些轮廓各要素的线值和角
度。在这种仪器上，只能用与其直线刻度尺和角度刻度尺直接
比较的方法进行测量(和量块相比较的方法在这里实际上是不用
的)。

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