上光一厂测量表面粗糙度双光束显微镜的原理

灯源，经聚光镜、

干涉滤光片，再经另一聚光镜，投射到反光镜上，再通过孔
径光阑和视场光阑，经照明聚光镜投射到分光板上。分光板
把投射在它上面的光束分成两部分，一部分透过，一部分反
射。从分光，板透过的光束，经补偿板被物镜会聚到其焦面
处的被测表面(即工件测量面)上。然后被该表面反射，重新
通过物镜和补偿板，到分光板。

  另一部分光束从分光板反射到物镜，再到参考镜(即
标准镜面)上，由标准镜面反射后，重新经物镜到分光板。
两部分返回的光束相遇后发生干涉，在无穷远处形成鲜
明的干涉带。调节可调反光镜，将它移到目镜的焦平面上。
于是，通过目镜就能观察到干涉带及被测表面的影象。
  仪器照相时，可以把可调反光镜从光路中移出，光线就
直接在照相反光镜_卜反射后射向照相物镜和照相底片。
干涉法
  (1)光波干涉原理干涉法就是利用光波干涉原理来
测量表面粗糙度。

双光束显微镜的简单原理
所谓干涉显微镜就是干涉仪和显微镜的组合，将被测件与标
准光学镜面相比较，用光波波长作为尺寸来衡量工件表面微
观不平度的高度。其原理如下。由光源A发出的光，经透镜、
光阑和反射镜射到半透明的分光镜上，分为二束光线，～束
射向被测工件表面后反射回来，另一束经分光镜射向参考镜
而后也反射回来。由于这两柬光线之间有光程差，相遇时，
便产生光波干涉，形成明暗交替的干涉条纹。著被测表面为
理想表面，则干涉条纹为一组等距平行的干涉带，若被测表
面有微观不平度，则形成弯曲的干涉条纹。干涉条纹的弯曲
程度用光波来度量之，从而测得表面粗糙度的参数值．

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