光切显微镜的检验在使用中应定期检定提高准确度

光切显微镜的检验在使用中应定期检定提高准确度

光切显微镜的检验在使用中的光切显微镜应定期检
定，检定时按有关标准要求进行。使用操作人员为检查所甩
仪器是否良好，可检验下述几项：
  1)传动升降机构及粗精调机构应转动平稳，不应有卡住
或跳动现象，锁紧机构要可靠。
  2)工作台测微千分尺的不准确度，要求在任意1毫米行
程上不超过0．01毫米。
  3)狭缝象和披测轮廓的象应能同时调清晰，其清晰范目
不小于目镜视场直径的三分之二。当在镜架两侧
用手施加压力时，象的位移不应超过0．05毫米，当撤去外方
后象不能回原位不应超过0．03毫米。
  4)狭缝象的轮廓边缘应光滑平直，两边缘的不平行度在．
目镜视场内不应超过0．03毫米。
  5)物镜座定位应可靠，当更换不同倍数的物镜时，象的
最大偏移量：在平行于狭缝象方向上不应超过0．3毫米，在
垂直于狭缝象方向上不应超过0．5毫米。
  6)示值误差。光切显微镜的示值误差是个综合误差，它
与光学系统误差、机械精度以及被测面的微观不平度的结构
有关。

  照明物镜和观察物镜是成对使用的。
玻璃标准尺的刻线是在同一平面上，在目镜内观察到的
象是刻线经放大了的实际象。而被测表面上的微观不平度的
微小峰谷是立体的，目镜内观察到的象是微观不平度在光切
面内的轮廓，不是被测面的实际轮廓。如前所述，光切面内
的轮廓与其实际轮廓相差光切原理系数。
光切显微镜的测量误差光切显微镜的测量误差，包
括仪器本身的系统误差和测量过程的偶然误差。

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