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成果名称
TTE系列半导体器件瞬态温升热阻测试仪
单位名称
北京工业大学新型半导体器件可靠性物理实验室
联系人
冯士维
联系邮箱
shwfeng@bjut.edu.cn
成果成熟度
□正在研发 □已有样机 □通过小试 □通过中试 √可以量产
合作方式
□技术转让 √技术入股 √合作开发 √其他
成果简介：
TTE-400 LED灯具模组热阻测试仪
TTE-500 多通道瞬态热阻分析仪
TTE-LD100 激光器用瞬态热阻分析仪
TTE-M100 功率器件用瞬态热阻分析仪
TTE-H100 HEMT用瞬态热阻分析仪
TTE-S200 LED热特性快速筛选仪
TTE系列半导体器件瞬态温升热阻测试仪是用于半导体器件（LED、MOSFET、HEMT、IC、激光器、散热器、热管等）的先进热特性分析仪，依据国际JEDEC51的瞬态热测试方法，能够实时采集器件瞬态温度响应曲线（包括升温曲线与降温曲线），采样间隔高达1微秒，结温分辨率高达0.01℃。利用结构函数算法能方便快捷地测得器件热传导路径上每层结构的热学性能，构建等效热学模型，是器件封装工艺、可靠性研究和测试的强大支持工具，具有精确、无损伤、测试便捷、测试成本低等优点。该成果已在公司和科研院所等20多家单位应用，并可定制化生产。
应用前景：
本产品已投入市场应用五年时间，产品型号在不断丰富以适应庞大的市场需求，技术指标国内领先地位，可替代国外同类产品，拥有独立的自主知识产权。
应用范围：功率半导体器件（LED、MOSFET、HEMT、IC、激光器、散热系统、热管等）结温热阻无损测量和流水线快速筛选。
应用情况：国内已有20多家客户的生产线或实验室使用本产品，包括军工单位、芯片厂商、封装厂商、高等院校、高科技制造企业。成果适用于开展半导体晶圆及芯片设计、生产的高校、科研院所及企业。
预计国内市场年需求量在500台，市场规模约5亿元。
知识产权及项目获奖情况：
拥有核心技术，国家发明专利24项，获中国发明博览会金奖1项。
（1）专利名称：一种快速测量半导体器件电学参数温度变化系数的方法和装置（申请号：201410266126.3）；
（2）专利名称：一种LED灯具热阻构成测试装置和方法（申请号：201310000861.5）；
（3）专利名称：功率半导体LED热阻快速批量筛选装置（申请号：201120249012.X）。
