触针法和表面轮廓仪及光学显微镜在轮廓测量技术简介

触针法和表面轮廓仪及光学显微镜在轮廓测量技术简介

  一种非常简单的方法是，使一根细针或触针在表面上来
回移动。再用合适的传感器测量它的上下位移。测量粗糙度
的轮廓仪和电刷榆测仪就是采用这种方法。触针通常具有半
径约万分之一英寸的金钢石或蓝宝石针头。垂直位移通过电
子仪器放大后记录在描笔式记录器或合适的测量仪器上。垂
直放大率叮以达到40，000左右，因此仪器可以记录高度小到
珂万分之一英寸的表面特征。它的最大灵敏度受到触针一定
尺寸的限制，以防触针深入最细的划痕或凹凸处。
斜剖切或推拔剖切

  另一种方法是通过表面剖切截面，再用光学显微镜观测
该截面。
冶金工作者常用这种剖切方法，它不仅能显示表面的形状，
而且还能显示表面层下的材料组织。
更详细地观测表面形状、剖切表面时可使截面与表面
因此，这种推拔截面或斜截面能比习用的金相截面更详细地
显示表面。但是，它们只能显示用各自截面剖切的那些沟槽。
如果按一个方向对试件进行磨削或抛光，这就是我们所需要
的全部数据。但是，如果把试件任意地抛光，以致沟槽走向
各个方向，那就要沿不同方向剖切几个截面以便获得表面的
全面图形。
  对于推拔截面或斜截面，必须做到以下两点。第一，在
剖切表面之前必须保护好自由表面。给表面电镀一层硬度大
致相同的金属，可以做到这一点。第二，对截面进行抛光时
必须十分当心，以致抛光过程本身不致在表面轮廓上产生人
为特征。
用不同方法制成的金属表面的某些典型结果。如果我们
能够保护好表面而制成抛光截面，那末这种方法也能用于非金属

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)