生产高质量的电子显微镜，须作非常精确的设计

生产高质量的电子显微镜，须作非常精确的设计

显微镜最重要的特性是其分辨能力。分辨能力的定义是，显
微镜能提供清晰客的两点间的最小距离，这些象虽有部分重叠，
但在充分大的放大率下仍能辨明而确定无疑。对于光学显微镜，
显微镜放大率可表示为物镜放大率与目镜放大率的乘积。但是，
放大能力应与物镜的分辨能力相适应。不论目镜放大率多大，只要
两个相邻点已预先用物镜在中间象中分辨出来，它就能加以分辨。
同光学显微镜一样，聚光透镜使电子束集中射到试样上。由于
其结构上的原因，试样(应该很薄)使电子柬得到调制。此外，
物镜产生放大约100---300倍的初象。最后，一部分中间象被投影
透镜放大在荧光屏或照相片上。在各个透镜前面，都有限制射束
立体角的光阑．电子从灯丝到荧光屏的整个轨迹和试样都在真空中，
以消除电子衰减和散射。试样照明随光阑和通

过聚光透镜的电流而改变，而放大率则随通过物镜和投影透镜的

电流而改变．
  为了生产高质量的电子显微镜，必须作非常精确的设计。例
如，进行显微镜竖筒的机械设计时所需的精度是，在大于lm的
长度内，各种子组件的同心度应能达到几十微米。另一个重要的
要求是电参数的稳定性，因为终象是用照相的方法得到的。虽然
显微镜的瞬时工作性能可能很高，但曝光时象的位置或大小的任
何变化都会降低质量。
  透射电子显微镜的一个特性是电子束的穿透本领低，因而用
它来研究表面时已产生了问题．为了克服这种缺点，要用表面复
制模。引用这种中间工序，具有下面几个缺点

(a)由于其厚度小会引起脆化，复制模必须支承在栅极止。

这意味着这种复制模部分地被不透明的栅条所屏蔽；

(b)制造复制模时用到的多道工序会改变其分辨能力；

 (c)不管制造复制模时多么仔细，这层膜再现表面细节的

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