表面微形状轮廓仪简介

表面微凸体的形状

  任何触针(轮廓仪)法和大多数剖切法都是故意把垂直
标尺放大。结果是，经过磨削或抛光的表面看起来好象是阿
尔卑斯山或喜马拉雅山的地形。如果我们把这些表面轮廓如
实地恢复到它们的真实形状，我们将发现这些表面微凸体要
平缓得多，而任何高峰或低谷的平斜度不会大于几度，也许
不大于5 00这也适用于用粗锉刀锉成的那些粗糙表面，‘即沟
槽较深．但平均斜度仍旧只有几度。
  当然也有一种明显的例外情况。对于经过仔细退火的晶
体材料试件，各个晶粒会以原状伸出到外层表面。这时，晶
粒面会与表面成一很大的角度。例如，对于具有立方晶格结
构的固体，会出现与总平面成90°的阶梯。对于经过磨削或
抛光以及电抛光的表面，不会发生上述情况，但也许顶上二、
三个原子是例外。微观几何结构与原子结构不同，它的斜度
比较平缓。把表面说成是像起伏的丘陵，而不是山峰更为确
切(这样也许不太逼真)。

有～种经过改进的反射法。其中细的电子锥按非常密集
的折线对表面进行扫描(在电视业的术语中，称这种扫描图
为“光栅”)。试件所散射出的电子可用集电栅聚集起来，以
便用来调节电视显象管中光束的亮度；这种对电视屏幕进行
扫描的光束与对试件进行扫描的电子束同步

。这种方法称为显微探针法或体视扫描法，虽然它的分
辨率不及其他的电子显微镜测量法，但所得到的图肜是非凡
的三维图

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