光声显微镜深度剖面分析,确定的区域内测量膜厚度

光声显微镜深度剖面分析,确定的区域内测量膜厚度

从光声信号的相位分析，也有可能确定信号来自材
料的表面还是体内。然而，真正作深度剖面分析仍然要求改
变调制频率。

  光声显微镜能作深度剖面分析的一个重要应用是在
显微镜能确定的区域内测量薄膜厚度。这种测量可以由分析
光声信号的幅值和相位对于调制频率的依赖关系来完成。这
些测量也可以通过分析由脉冲激光或脉冲粒子柬产生的光声
信号对时间的依赖关系来实现

现在已经有一些关于研制光声显微镜技术的新工作。这
些工作是利用气体一传声器和压电方法检测信号。对于光声显
微镜的大多数应用，压电方法可能是比较适合的。然而，与那
些仅在高超声频率才使用压电方法的研究工作不同，光声显
微镜技术大多在低频下使用，这时可进行热波显微镜成象。
当然，如果充分发挥光声原理的优点，光声显微镜将具有某些
重要的和独特的功能。

  特别是，作为一般的分析工具和在半导体工业中作为控
制过程的设备，光声显微镜是具有很大的前途的。在半导体
制作流水线上，可用光声显微镜在器件制作的早期阶段监测
集成电路的电短路或漏电的存在。光声显微镜还能在流水线
上用来观察并检测表面以下的图形和结构，并实行局部薄膜
厚度的测量。光声显微镜有这样的多种功能，将使大规模集
成电路和其它的电子器件的制作成本大为降低。

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