覆层制品厚度断面测量多功能工具光学显微镜

覆层制品厚度断面测量多功能工具光学显微镜

覆层厚度的测量，可根据测量对象结合各种方法的特点和所
适用的范围，来选择适宜的方法和仪器．
  测量覆层厚度，最重要的是指测量覆层工作面的覆层厚度，
如轴套内表面的覆层厚度、某些形状复杂或曲率半径很小的覆层
制：铝的覆层厚度。在合适方法选定的基础上，对于仪器的选用，
还得考虑有合适的测头，以满足具体测量的需要．
  有些覆层制品其覆层厚度是非常均匀的，如镀锡薄钢板，一
般可采用称重法进行平均值测量。但更多的覆层制品其覆层厚度
往往不是很均匀的，因此必须测量出最小覆层厚度，以达到所规
定的技术要求．在这种情况下，测头要小到能逐点测量，从而可
测出整个覆层制品的覆层厚度分布情况。这对于大多数无损测量
方法是易于实现的。

在覆层制品生产单位和用户之间，往往要进行抽样和选点测
量，以保证覆层制品技术要求的最小覆层厚度，通常将这种测量
。称为仲裁测量。这种测量一般具有直观、可靠、准确度高等特
点，过去都把断面显微镜测量作为仲裁测量。但是，显微镜测摄
厚度大约在8微米以内，其准确度较低，难以达到技术要求，并需
要有专门训练的技术人员。随着电子技术的进步，阳极溶孵库仑
测厚仪的应用日益普遍，用这种方法可测量10微米以下的覆层厚
度，测量重现性较好，准确度较高，误差可小于±5％，因而阳
极溶解库仑法覆层厚度测量可作为几个微米范围内覆层厚度的仲
裁测量。
  轮廓仪在测量为l微米以下的覆层厚度时，具有很高的准确
度，但高级的轮廓仪价格较为昂贵，在有条件的地方，可以采用
．轮廓仪作为特薄覆层厚度的仲裁测量。

用绝对误差表示测量准确度；但若被测覆层厚度相差很大，则
更能反映测量准确度。通常，用覆层测厚仪测量薄覆层厚度时，
一般绝对误差较小，而相对误差很大，但用覆层测厚仪测量厚覆
层厚度时，绝对误差较大，而相列‘误差较小。在各种覆层厚度测
量方法标准中规定了覆层厚度测量的相对误差和绝对误差，即薄
覆层不超过规定的绝对误差，而厚覆层不超过规定的相对误差。
有的仪器规定其误差为相对误差加绝对误差，仪器在测量薄覆层
时不应超过规定的绝对误差。

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