光切显微镜技术应用于微器件尺寸测量的优点

光切显微镜技术应用于微器件尺寸测量的优点

经比较，用光切法解决目前微器件的尺寸测量问题有如下

优势：
  (1)目前我国微细加工精度一般在1～10μm水平，微
器件及微机械的整体尺寸大多在i0 mm数量级。虽然光切法的精度
相对
不是特别高，但结合微加工现状来考察其精度、测量范围和视场直
径，光切法很适应实际加工中的测量要求。
  (2)用光切法观察到的图像是具有一定宽度的惟一一条截面
轮廓，光栅法和显微干涉法的图像为多条干涉条纹。光切法的测量
观察更直观；若进一步采用图像测量技术的话，用光切法得到的图
像更容易处理。
  (3)基于光切法的仪器结构相对最简单，很容易实现。
  常用的双管(光切)显微镜就是依据光切原理工作的。在原有
仪器基础上，进行功能上的扩充和改善设计，这对较快地解决实际
生产中的迫切存在的测量问题具有积极的现实意义。

基于光切法的微结构尺寸测量

微结构尺寸测量
  根据光切原理设计的显微镜，都有两个显微镜：一个把细窄的
光带投射到被测表面上，另一个进行观察测量。有的在外形上就具
有两根分立镜管，俗称为双管显微镜。

光切法既可测高度方向尺寸，又可以测平面上的长度尺寸。只
是读数过程要分别进行，数值换算稍有差异。这样在实际测量微结
构时，以测量难度大的高度方向尺寸为重点，同时可兼顾平面尺寸

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