高分辨率光电测量技术涂层表面分析实验仪器厂商

步进方法

光电尺寸测量方法通常用带有步进分度的刻度尺(或角度盘)作为
实物量具。它的适用范围从大约50ram的探针封装系统到长度范围达
到30m的钢带。测量值用前部或后部照明的方法获得。前部照明的方
法，刻度包括两个相同宽度的相互交错类型的线：一种线的类型(例
如，金涂层)直接反射入射光线；另一种是漫反射，刻度尺的衬底材
料是钢。如果用背部照明的方法，用铬线组成的刻度区域适用于半透
明的玻璃衬底。某种程度上玻璃陶瓷也被应用上，但对热膨胀不灵敏
。例如微晶玻璃。在这一点上铬线阻止了光线穿过玻璃刻度尺。

用这两种方法，测量值的获得都是通过取样板相对刻度尺的移动
产生明暗交替的变化，用光敏传感器探测到的。取样板由带有与刻度
尺相同间隔刻度的半透明材料组成。高分辨率刻度尺与内插运算法结
合，可获得低于毫微米的分辨率。通过应用间距为四分之一区域周期
的取样光栅，可以获得刻度尺和取样板之间相对运动方向的信息。

通过附着在刻度尺旁的单独轨道的参考标志，可以建立绝对参考
物。为了避免每次打开电源都要回到参考标志的位置，尤其是长刻度
尺，距离信号代码在参考标志轨道上经常应用。以主刻度区域的刻度
标志的形式，在参考标志之间定义了不同的距离，因此不再经过两个
距离代码参考标志，就可以测量到绝对位置测量方法用刻度尺和半透
明、不透明区域交替变化的取样板来描述，利用所测量光振幅的变化
实现尺寸的测量。

更进一步的步进式光电测量方法是基于干涉原理。光相位调制用
于尺寸测量。前部照明的测量方法用一个刻度尺和带有相位光栅的取
样板。金阻流板附着在金的涂层表面；

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