提高光切显微镜测量精度的结构改善

显微物镜

  光切显微镜测量微观尺寸的范围，一方面受物镜分辨能力的
限制和仪器总的放大倍率的影响，这决定了所测量的最小极限即
测量精度；另一方面物镜的成像深度(即景深)限制了可测的最大
极限。仪器的分辨能力和景深都与物镜的数值孔径有关，因此为了
扩大仪器的测量范围，应配备多对不同的放大倍率和数值孔径的
显微物镜组。

  普通双管显微镜测量范围为0．8～80微米，比显微干涉法和投
影光栅法范围大得多，但有些微机械器件具有很大的高度尺寸(高
达几百微米)，所以有必要对显微物镜组进行扩充。对同一物镜组，
测量精度、测量范围和视场直径是相关的，更换物镜时需同时兼顾
三方面的参数要求。

  2．光源与狭缝
  光源对读数测量的精度影响很大。读数时以图像边缘为测量
依据，所以狭缝的边缘要整齐尖锐，两半片要具有较好的平行度和
可调节性。此外，因为测量的图像为一截面上的轮廓，所以得到的
光带宽度不宜过大(一般控制在0．18 mm以下)，如果窄光带对应
的图像亮度不够，可将普通的照明光源换成小型激光器，图像质量
将会得到提高。

  在图像测量中也同样存在放大倍率与照明的改造设计问题。

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