的产品出场：电气全新场发射扫描电镜Regulus前传

     近日，日立发布新型场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）全新品牌 "Regulus®系列"。

           此次发布的机型包括作为SU8010的后续机型开发的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升级 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4个机型，均实现了分辨率和操作性的强化。

    本次发布的新品牌 "Regulus系列" 电子光学系统进行了最优化处理，使得着陆电压在1kV时分辨率较前代机型提高了约20％。"Regulus8220/8230/8240"达到0.9nm，"Regulus8100"为1.1 nm的分辨率。另外，最适合低加速电压下高分辨观察的冷场电子枪可将样品的细节放大，并获得高质量的图片。最大放大倍率也由之前的100万倍提高到了200万倍。
        除此之外，为了能更好的应对不同样品的测试和保持并发挥出高性能，还对用户辅助工能进行了强化，如信号检测系统的操作辅助功能，维护辅助功能等。

       那让我们来看看新产品的效果吧。

 主要特点：

搭载了色差极小的适合低加速电压高分辨率观察的冷场电子枪

跟前代机型相比分辨率大约提高了20%
（Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV）

最大倍率从原来的100万倍提高到200万倍*1

用户辅助功能，帮助用户把仪器的高性能完全发挥出来

主要参数：

名称

Regulus8100

Regulus8240/8230/8220

二次电子分辨率

0.8 nm（加速电压 15 kV）
    1.1   nm（着陆电压 1 kV）*2

0.7 nm（加速电压 15 kV）
    0.9   nm（着陆电压 1 kV）*2

加速电压

0.5~30 kV

0.5~30 kV

着陆电压*2

0.1~2 kV

0.01~20 kV

倍率

20~1,000,000倍*3

20~2,000,000倍*3

马达台控制

3轴自动*4

5轴自动

*1  仅限 Regulus8240/8230/8220

*2  减速模式观察

*3  127 mm × 95 mm 视野的画面倍率

*4  5轴马达台为选配项

更多仪器信息请见：

超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus8100

           场发射扫描电子显微镜Regulus8200