涂层厚度、孔隙率和密度高清晰光学显微镜

涂层的物理性能

涂层重要的性能之一就是它的厚度，常常在加工过程中有对厚度的
要求。通常测量厚度小于20μm的液料喷涂涂层来说是一个问题。孔隙
也是一个重要的性能，它会影响涂层的力学、热物性能。热物性包括热
导率、热扩散率、潜热、发射率和热震性能，这些尤其对于热障涂层来
说是很重要的，最后，为预测涂层在实际不同环境下服役的行为和寿命
，可以采用测量涂层水腐蚀和热腐蚀抗力的方法。

厚度、孔隙率和密度

喷涂涂层的厚度可采用精度在5～10μm的螺旋千分尺测量，商业化
的千分尺可以测量不同形状和尺寸的工件厚度。厚度同样也可以采用破
坏性的方法，通过制样后对涂层截面金相观察。这种方法尤其适合于液
料等离子弧喷涂的薄涂层

  不同类型的孔隙和密度

根据孔隙的尺寸，孔隙可以分为下列几类：

·规则的孔隙，尺寸从几十个纳米至几十个微米大小，规则的孔隙
形成于涂层制备过程及后处理过程中

·显微孔隙一晶格结构的空位，它们的尺寸在纳米范围内。显微孔
隙在高清晰的透射显微镜下可观察到。

另外的分类方法考虑了孔隙相对于涂层表面和界面的位置，它包括
：

·开口孔隙，对应于与涂层表面连接的孔隙。

·闭合孔隙，在涂层内部的孔隙。

·横贯孔隙，对应于连贯于涂层表面与界面的孔隙。

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)