测量表面面形或测量由于应力和物体运动引起形变

测量表面面形或测量由于应力和物体运动引起形变

检测散射表面的莫尔条纹、条纹投影、结构照明、全息干涉术、数
字全息及散斑干涉测试术。散射表面可能是光学毛表面，但更多的
情况有时是其他种类的]：程面形或人造面形。这些技术主要用于

测量表面的面形或测量由于应力和物体运动引起的形变。在测量面
形时，相比传统干涉检测术，这些技术提供了一种粗糙但更灵活的
检测方法，因而适用于检测更广范围的表面。对于由施加应力而引
起的位移测量，可以定量测定静态及时间平均和动态位移量。这些
技术被大量应用于机器视觉，例如过程控制及工程组件上的特殊测
量任务。应用范围从测量飞机窗口形状到决定组件将是否应留在电
路板上，从研究涡轮叶片振动模式到监测一个大型组合式望远镜中
各分块镜的对准情况，从制造历史雕塑的复制品到生产一条合身的
牛仔裤，从创造动画电影到具有真实形象的电子游戏。最新技术打
破了以往技术的限制，目前专注于多媒体娱乐和安全的快速取样及
实时形态观察。莫尔条纹与条纹投影技术

  莫尔一词不是一个人的名字，实际上它是一个法语词组，通常
是指“通过在刻辊之间加压而在面料上形成的不规则波状釉面，从
光学的角度讲，它是指由两个几乎等间距的光栅产生的拍频图。在
13常生活中可以经常看到这种现象，例如将两块纱窗重叠在一起，
筛分出一个半色调图片，或者像在电视上所看到的衬衫样条纹。利
用莫尔技术降低检测的灵敏度，并着眼用两个相同光栅的莫尔条纹
来检测光栅自身的质量。对每个单一光栅，即使利用显微镜也不能
解决光栅质量的检测。

  条纹投影需要将条纹或光栅投影到待测面上，并从另一个不同
的方向进行观察。对于过于粗糙而不能利用标准干涉法进行测量的
表面，条纹投影是一种方便的技术。通过使用单个点光源和光切法
将条纹投影与光学三角测量关联起来，光切法是将单束光线投影到
物体表面上并从不同方向观测该物体以获得表面轮廓这些技术通常
用于散射目标，然而，已经研发出一种通过观察条纹反射来测量反
射表面的替代方法

  莫尔条纹和条纹投影是对传统光学全息干涉测试的补充，尤其
是检测需要在长波段使用的光学元件。且对环境要求不高的情况下
，勾画表面轮廓。同时，莫尔条纹还有助于干涉测量法的理解。

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