通过玻璃板或流体介质的测量
一些工程对象,如MEMS系统,通常用防护玻璃罩进行保护,在
环境舱中一些设备需要在不同的压强及温度下进行检测。这些对象
的检测需要经过玻璃防护罩进行。生物样本通常是泡在液体中的,
对其测量则需要通过液体。因为液体层或玻璃保护罩的色散,
白光条纹可能会全部消失。
因此,需要在干涉仪的参考臂上引人一个补偿板。这种补偿方
式对于迈克耳逊型的物镜是最容易实现的。此外,对于那些用在照
明和成像光学系统中的数值孔径更高的物镜,条纹的对比度减小得
更快。针对这些更高数值孔径的物镜引人补偿也很难。对于这种具
有高的数值孔径物镜的系统,为了增加针对具有高数值孔径物镜系
统的条纹对比度,降低照明的数值孔径可以通过直接将一束数值孔
径很低的近准直照明光束入射到物镜下方的干涉仪中而不经过物镜
来实现,
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