准直光管式孔径比较仪测孔测量误差原因

准直光管式孔径比较仪测孔测量误差原因

用接触式干涉仪测轴时，测量误差的组成与用立式光学计测轴相似
，即包括：①光管带来的误差；②标准量块的误差；③工作台台面
对测帽平面不平行的误差；④温度的影响；⑤测量力的影响；⑥工
件重量与标准量块重量差引起工作台变形带来的误差等。其中，②
③④⑤项的考虑方法与用立式光学计测轴时相同。第⑥项考虑到干
涉测轴精度较高，为了不致因工件重量带来的测量误差影响测量精
度，必须控制被测工件的尺寸。对于干涉测量，建议被测工件直径
小于40mm，根据检定规程推算，这时带来的工作台变形，对钢制工
件而言约为0．2微米。当然如果采用标准轴比较，此项误差可忽略
用准直光管式孔径比较仪测孔，其误差由以下几部分组成：
  (1)读数系统的误差。它包括测头部分带来的误差和准直光管
带来的误差。而测头误差又包括测头本身的检定误差，将线值转换
成角值带来的误差及其稳定性误差。
  (2)标准量块的误差。
  (3)标准量块组成的标准框和孔的定位误差。对标准框来说，
其标准尺寸应该是在水平面和垂直面内的最小尺寸。而对被测孔，
要测的尺寸应该是在水平面内的最大尺寸和垂直面内的最小尺寸。
无论是标准框或被测孔，这个尺寸都不可能定位很准确。对于可以
找转折点的仪器而言，其定位精度决定于读数的灵敏程度。对本仪
器来说，由于它在孔的垂直截面内不能找转折点，因此在这个方向
上的定位误差就决定于孔的端面对孔轴线的垂直度误差。

  (4)温度的影响。其作用因素与测轴的情况相同。
  (5)测力带来的误差。在孔测量中，所使用的测帽都是球
测帽，故由测力引起的变形，对标准框和孔相差不多，而且本
仪器的测力小(不大于0．28N)，此项影响可忽略。
  用此仪器测孔，其总误差随着所用标准量块的等级及工
件定位误差的不同而不同。根据有关资料，在不考虑上述两
个因素的情况下，其测量精度可达±0．25微米。

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