微模铸技术微米级的加工工艺使用原子显微镜

微模铸技术微米级的加工工艺使用原子显微镜

  深反应离子刻蚀为制造用于大规模生产的主模具提供了一种技
术途径。与微模铸技术联合运用的话，可以制造种类繁多的微产品
。以深反应离子刻蚀加工深沟槽的方法被用于制造可调谐的电容器
。
  在纳米加工领域中，微米级的加工工艺可以制作用于原子力显
微镜的悬臂梁探针，该结构可以在硅和其他材料上以直写方式复制
结构图形。本书阐释了其中两个问题，是如何开发微米加工工艺，
并通过加工来逐一生产出产品，二是如何通过制造工程来生产多个
微产品。如何通过微米加工手段来制作原子力显微镜的悬臂梁的示
例。对用硅和玻璃构成的悬臂梁进行腐蚀后，可以加工出制作探针
所需的结构图形，该探针用于在衬底表面上的直写。这种类型的悬
臂梁可用于在纳米加工中形成特定结构

  在悬臂梁加工过程中．利用各向异性腐蚀在硅晶圆的(100)表
面上形成凹坑。在该晶圆表面和凹坑中淀积一层氮化硅膜。支撑针
尖的梁的制备方法是：将玻璃基片上的硅除去，只余下与金属方块
连接的氮化硅悬臂梁。

基于软刻印的纳米加工
  纳米加丁技术的发展的动力源于提升单片硅上晶体管密度的直
接需求。然而，纳米加工技术也可以用于开发那些并非面向半导体
行业的产品。例如，正在开发用于构建谐振隧道二极管、三极管以
及单电子晶体管与碳纳米管晶体管的纳米加丁技术。目前正在开发
中的、面向纳米级应用的晶体管中，最常见的类型是场效应晶体管
。

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